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高精度傳感器就是指測量觀測結果、計算值或估計值與真值(或被認為是真值)之間的接近程度很高,可以很真實的還原物體的本質的高精度傳感器。
目前常用的高精度傳感器是激光傳感器,其精度主要取決于光的單色性的好壞。激光是理想的光源,它比以往的單色光源(氪-86燈)還純10萬倍。因此激光測長的量程大、精度高。由光學原理可知單色光的可測長度 L與波長λ和譜線寬度δ之間的關系是L=λ/δ。用氪-86燈可測長度為38.5厘米,對于較長物體就需分段測量而使精度降低。若用氦氖氣體激光器,則可測幾十公里。一般測量數米之內的長度,其精度可達0.1微米。比如說ZLDS10X。以下介紹兩種高精度位移傳感器的特征:
ZLDS100R-4-39傳感器可用于鏡面和玻璃的表面測量;
頻率響應:2K、5K、8K、9.4K;
針對串口,提供了運行應用的DLL開發庫,方便用戶開發應用軟件;
支持特殊量程(如遠距離起始700mm小量程300mm等);
分辨率0.01%,線性度0.1%;
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